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Wickon Hightech

SPEEDCube

AVI-System für die 3D-Substratinspektion und Vermessung

Das Inspektionssystem SPEEDCube von Wickon Hightech bietet patentierte CCT-High-End-Technologie (CCT: (Confocal Chromatic Triangulation)) zur hochpräzisen automatischen optischen 3D-Messung und Inspektion extremer Oberflächen, wie z.B. nasser, auch gesinterter Pasten und rauer Oberflächen.

Das System ist ideal für Inspektionsaufgaben in der Halbleiterindustrie, bei denen höchste Genauigkeit und Geschwindigkeit erforderlich sind. Die innovative Lösung eignet sich besonders zur Oberflächeninspektion bei komplexen Strukturen und liefert präzise Ergebnisse für die Prozesskontrolle.

Mehrwerte

  • Tisch-, Inline- und Offline-Modelle, Integration in bestehende Anlagen (z. B. Transportmodul, Drucker etc.)
  • Schnellste Taktzeiten: Bis zu 300 cm²/s
  • Höhenauflösung: je nach Ausführung bis zu 8 nm
  • Standardabweichung: bis zu 20 nm @ 1 Sigma
  • Innovative, patentierte Lichttechnologie
  • Beleuchtung: 3D-Beleuchtung (Topographie-Erkennung), diffuses Licht (homogene Ausleuchtung), Auflicht (strukturelle Veränderungen), Dunkelfeldbeleuchtung (Hervorhebung relevanter Teilbereiche)
  • Druckinspektion: Fläche, Höhe, Volumen, Druckversatz, X/Y-Versatz, Verdrehung, Formfehler, Koplanarität, Freiflächenanalyse
  • Intelligente Algorithmen vermeiden Pseudofehler
  • Optionen: Offline-Programmierstation, Reparaturstation, BCR, elektrische Breitenverstellung, CSV-Export, Anbindung an MES-Systeme, u. v. m.

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